使用SmarAct的SMARPROBE进行纳米级精密电探测

卓越的性能

• 完全编码，分辨率为 1 nm
• 主动位置保持
• 扫描范围大，热漂移低
• 在全 30 x 30 mm 上进行大面积探测
• 高速 EBAC/EBIC 成像

高效且简单

• 一体化用户界面
• 所有探头的自动着陆和对准
• SEM 图像中的“点击”导航
• 团体运动和“步进与重复”
• 样品和探头的 CAD 导航

应用示例

有关所有应用笔记的概述，请单击此处。

纳米探测

SMARPROBE系统可用于探测最小的技术节点，因为SmarAct驱动器的高精度和主动温度控制使探头的热漂移低。

闭环定位允许用户在很短的时间内将针尖定位到兴趣点，并且电子束暴露尽可能少。安全接近运动和大扫描范围将降低在精确定位过程中损坏探头和样品的风险。由此产生的长寿命针尖与加载多个样品的能力相结合，使您能够大大提高样品的吞吐量。

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电子束吸收电流 （EBAC）

SMARPROBE系统可以通过直接在探头支架中实现的电流放大器进行升级。只需单击一下即可在纳米探测和电流放大之间切换。探头和放大器之间的短本地距离保证了低测量噪声和高测量带宽。电流放大通常用于故障分析技术，如电子束吸收电流（EBAC）或电阻对比成像（RCI），以定位金属线或过孔内的断开或短路。使用EBAC分析金属线网络的示例如图所示。

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主要规格

SmarActs的纳米探针台有多种配置，并具有多种选项和定制级别。下表提供了关键规格的印象。对于SMARPROBE系列的每个产品，下载部分提供了详细的规格表。