CLL-42–长行程压电位移台
CLL系列的线性纳米位移台基于滚珠滑块。提供 99、179、259 和 379 mm 的标准行程范围。由于可根据要求提供特殊长度,因此这些长行程纳米位移台是在有限空间内长距离精确定位的解决方案。CLL纳米位移台配备了SmarActs可更换的驱动单元,可确保轻松检修纳米位移台的核心部件压电驱动装置。这使得维修成为一项非常简单的任务。CLL纳米位移台可由我们的任何粘滑驱动控制系统操作。
也可以将多个滑块放在同一导轨上并独立移动它们。这允许完全电动的光学工作台装置。
CLL42 提供了一个大型平台来安装有效载荷,并具有长行程范围以及可更换的驱动单元。
CLL42配备了SmarActs可更换的驱动单元,可确保轻松检修纳米位移台的核心组件压电驱动装置。这使得维修成为一项非常简单的任务。它也有高真空版本。标准型号提供 99、179、259、379、499 和 619 mm 的行程。特殊长度当然可根据要求提供。
主要规格
Mechanical
|
|
Travel [mm]
|
160 … 680
|
Blocking Force [N]
|
≥ 5
|
Max. Normal Force [N]
|
30
|
Max. Lift Force [N]
|
1.5
|
Dimensions [mm]
|
60 x 16 (open-loop carriage)
|
Weight [g]
|
Length-dependent
|
Open-loop
|
|
Velocity [mm/s]
|
> 15
|
Open-Loop Resolution MCS2 [nm]
|
< 1
|
Open-Loop Resolution (H)CU [nm]
|
50
|
Closed-Loop
|
|
Sensor Resolution MCS2 [nm]
|
1 (S), 4 (L)
|
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm]
|
± 100 (S)
|
Options
|
|
Material Options
|
Multiple carriages; Counterbores; Tapped holes (M4)
|
Mechanical Options
|
Multiple carriages; Counterbores; Tapped holes (M4)
|
Vacuum Options
|
HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)
|