SmarAct公司-特殊环境压电位移台及定位系统

为了为您在极端条件下的应用提供理想的定位性能,SmarAct 为工业和科学领域的各种应用开发了专门版本的定位系统。对于需要在低温、超高真空或高磁场下运行的应用,SmarAct 完善了特定材料、合适的布线和特殊制造工艺的使用。

低温压电位移台及定位系统

用于低温条件下高性能定位的线性位移台和旋转台。

无磁定位平台和系统

用于高磁场或带电粒子应用的定位平台和系统.

超高真空压电平台和定位系统

真空兼容 (HV/UHV) – 可烘烤温度高达 130 °C。

低温压电平移台和定位系统

工业和基础研究中的许多应用都需要低温。此外,在许多情况下,不仅需要冷却样品,还需要在低温恒温器内对它们进行精确的机械操作。SmarAct 开发了具有低热曲线和超高真空兼容性的 SMARSLIDE 平移台,允许在低至 mK 范围的温度下操作样品。此外,它们的使用温度可达 330K,并且可以像常规 UHV 系统一样进行烘烤。也可提供非磁性版本。

闭环低温平移台

SmarAct 的闭环低温平移台为低温应用提供优异的闭环定位性能。

低温线性平移台

低温线性平移台是 SLC 系列平移台的专用版本。

低温旋转台

低温旋转台可用于为小型化多轴装置增加旋转自由度。

微型低温线性平移台

微型低温线性平移台是非磁性的,可以轻松组装到 XY 定位系统中。

低温光学镜架

高分辨率低温光学镜架,用于在低温应用中操纵光学元件。

低温定位系统

具有热管理设置和定制顶板的低温定位系统。

非磁性压电平移台和定位系统

SmarAct公司-特殊环境位移台及定位系统插图10对于磁场或其他需要非磁性材料的环境中的应用,SmarAct 提供完全非磁性的定位平移台和定位系统。这些平移台的典型材料是铜铍、钛、陶瓷和具有 Teflon或 Kapton绝缘层的铜线。
SLC-17 和 SLC-24 系列的非磁性平移台包括陶瓷导轨。我们建议您还选择U 形底座,以增加平移台的整体刚度。
U 形底座具有常见的安装孔图案,但比标准平移台宽 6 毫米。因此,SLC-17系列的U形底座平移台宽度为23毫米,SLC-24系列的U形底座平移台宽度为30毫米。仅当紧凑性最重要时才建议放弃 U 形底板。

此外,大型并联运动系统(如下图所示的定制SMAR POD)也可以实现为完全非磁性版本。

SmarAct公司-特殊环境位移台及定位系统插图11

超高真空压电平移台和定位系统

SmarAct 的平移台和系统不仅非常适合大气条件下的应用,而且在某些情况下也适用于更极端的环境,如高真空(HV,10 -6 mbar)和超高真空(UHV,10 -11 mbar) 。SmarAct公司-特殊环境位移台及定位系统插图12

本网站上提供的大多数平移台都有专为在真空条件下运行而准备的版本。
UHV 版本可在高达 150 °C 的温度下烘烤,并提供两种不同的电缆类型:

  • 经济高效的版本采用聚四氟乙烯绝缘线。
  • Kapton 绝缘版本是一种无氟解决方案。

由于 SmarAct 是一家完整的解决方案提供商,高压和特高压定位系统均配有匹配的电气馈通。作为标准,SmarAct 使用:

  • HV 作为隔板 LEMO 馈通件,采用 O 形圈密封。
  • 用于 UHV 的 UHV 紧密焊接设计。

非常欢迎您随时联系我们的应用科学家讨论您的具体要求。
对于需要安装后烘烤的 SLC-17 和 SLC-24 系列真空兼容平移台,我们建议选择U 形底座以增加平移台的整体刚度。

请注意,U 形底座具有常见的安装孔图案,但将平移台本身的宽度增加了 6 毫米。这会将 SLC-17 平移台的宽度更改为 23 mm,将 SLC-24 平移台的宽度更改为 30 mm。仅当紧凑性是首要要求时,才建议省略 U 形底座选项。

Atmospheric Conditions
High Vacuum (HV)
Ultra-High Vacuum (UHV)
Ultra-High Vacuum (UHVT)
Pressure Down to 10-6 mbar Down to 10-11 mbar Down to 10-11 mbar
Wiring Teflon-insulated stranded wires with braided shield and Teflon coating Teflon-insulated stranded wires with braided shield Kapton-insulated stranded wires Teflon-insulated stranded wires with braided shield
Grease Standard grease HV compatible grease Grease-free Grease-free
Sensor Options S, L, I S S S
Bake-Out Temperatur Up to 130°C upon request Recommended 130°C (max. 150°C) Recommended 130°C (max. 150°C)
Vacuum Feedthrough LEMO feedthroughs
– O-ring tightened by a screw nut
– Flanges available upon request
LEMO compatible steel multipin or D-SUB15 PEEK feedthroughs welded into vacuum flange
– DN40CF or DN63CF flange, other sizes upon request
LEMO compatible steel multipin or D-SUB15 PEEK feedthroughs welded into vacuum flange
– DN40CF or DN63CF flange, other sizes upon request