Project Description

SEBI RT1000波前传感器
SEBI RT1000新型波前传感器
SEBI RT1000是一款具备实时处理能力的高分辨率波前传感器,可为严苛的应用任务提供高精度与高采样率。
得益于 WFPI技术 的实现,这款多功能传感器可测量多种样品(包括透明和反射型样品),并利用相位数据提取,在纳米级和微米级范围内捕获信息。 以每秒30帧的实时观测能力,我们实现了功能多样的波前传感器,使其能够灵活适配于制造和科研环境。
主要特点:
- 高速 – 30帧/秒的实时处理速度
- 即插即用 – 采用USB连接
- 高精度 – 高相位采样和波前精度
- 高空间分辨率 – 12.5微米
- 相位采样 – 1000 x 1000像素
测量能力
SEBI RT1000波前传感器能够测量多种样品,不论是透明样品还是反射式样品,这些样品可通过相位数据提取获得纳米和微米级的信息。
该产品在工业和研究领域有多种应用,例如:
激光测量
材料检验
光学表征
软件 – SEBI 分析软件套件
SEBI RT1000包含分析软件套件,可帮助用户能够实时获得全传感器分辨率的相位和强度图像。
样品的精确测量
SEBI RT1000新型波前传感器性能参数
| 相位采样 | 1000 x 1000 |
| 横向分辨率 | 12.5μm |
| 可重复性 | ~λ/30 RMS |
| 孔径尺寸 | 15 x 15mm |
| 波前精度 | <λ/30 RMS |
| 波长范围 | 380-650nm |
| 实时处理 | 30fps |
| 接口类型 | USB 3.0 |
| 操作系统 | Windows |
SEBI RT1000新型波前传感器性能参数
| 相位采样 | 1000 x 1000 |
| 横向分辨率 | 12.5μm |
| 可重复性 | ~λ/30 RMS |
| 孔径尺寸 | 15 x 15mm |
| 波前精度 | <λ/30 RMS |
| 波长范围 | 380-650nm |
| 实时处理 | 30fps |
| 接口类型 | USB 3.0 |
| 操作系统 | Windows |
材料检测
晶圆检测
定量相位成像
光学系统或光学测量
激光测量
自适应光学
超表面或超透镜测量
表面面型分析
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