Project Description
Phemet高精度晶圆几何形貌测量系统
Phemet高精度晶圆几何形貌测量系统
Phemet 是一款专为 300mm 晶圆设计的自动化晶圆几何形貌测量系统，为 HVM 客户提供最高速度和精度。
Wooptix 开发了一套晶圆几何形貌测量系统 Phemet , 该系统采用了WFPI ——一种波前传感技术。
仅需单次测量即可获取整片硅晶圆的形状 、纳米级形貌及粗糙度数据 。凭借采集超过 1600 万个具有亚纳米高度分辨率的数据点， Phemet 已在测量速度与分辨率方面成为行业前列产品。
Wooptix 为先进晶圆级封装提供的晶圆检测与计量系统， 可为芯片制造商提供关键数据， 通过在其日益复杂的制造工艺中实现全面可追溯性， 从而提升良率。
Phemet 为 300 mm 晶圆的在线计量提供自动化解决方案， 具备高吞吐量与紧凑安装尺寸的特点， 是晶圆厂的理想选择 。该系统支持将其采集的数据应用于前馈算法或其他定制化控制方法中。
主要优势：
- 抗振动性能优异；
- 紧凑且灵活的系统设计，在实现高吞吐量的同时，极大限度的优化占地面积；
- 对XYZ坐标系中的晶圆定位具有高度容差，从而支持大规模生产；
- 数百万个高分辨率的数据点，亚纳米级分辨率；
- 全自动化运行
- 提供符合客户需求的形状数据及其他参数
Wooptix的计量系统为过程控制带来新的变革
由于工艺微缩化、新型集成技术以及将多种组件集成至统一封装体等趋势，对更高精度过程控制的需求日益增强。
Wooptix系统助力企业快速识别、应对并追踪偏差，从而强化质量控制，提升设备性能。
测量结果
Phemet为每项测量提供完整的数据集。
| 晶圆尺寸 | 300mm |
|---|---|
| 方向 | 垂直晶圆处理 |
晶圆检测
