为拉曼光谱选择激光器 – 需要考虑的重要性能参数 拉曼光谱中常用多种不同波长的光，从紫外（UV）到可见光，再到近红外（near-IR）。为给定应用选择最佳激发波长并不总是显而易见的。优化拉曼光谱实验必须考虑许多系统变量，其中一些变量与波长选择有关。 为什么激光波长的选择对拉曼光谱很重要？ 首先，拉曼信号本质上非常弱。它依赖于样品材料中的光子-声子相互作用，这通常是百万分之一的事件。此外，拉曼散射强度与激发波长的4次方成反比，这意味着较长波长的激发会导致拉曼信号降低。 探测器的灵敏度也取决于波长范围。CCD通常用于检测拉曼信号。这些CCD器件的量子效率在超过800nm时下降得相当快。对于超过800nm的照明，可以使用InGaAs阵列器件，但这些器件与更高的噪声水平、更低的灵敏度和更高的成本有关。拉曼信号强度和检测灵敏度的波长依赖性似乎都指向使用较短波长的激发（UV和可见光），而不是较长波长（在近IR中）。然而，短波长激发仍有一个挑战需要克服：荧光发射。许多材料在被紫外可见光激发时会发出荧光，这会淹没微弱的拉曼信号。即便如此，拉曼光谱中最常用的波长是785nm。它在散射效率、荧光影响、检测器效率和成本效益高、紧凑、高质量激光源的可用性之间提供了平衡。然而，蓝色和绿色（特别是532nm）可见激光的使用正在增加。 选择用于拉曼光谱实验的激光器时应考虑哪些性能特征？ 除了波长之外，在为拉曼光谱仪选择最佳激光源时，还应考虑许多重要的性能参数。关键性能参数包括： 六个重要的激光器性能参数

引言 随着现代集成电路体积的不断缩小和复杂性的不断增加，对失效分析的要求也越来越高。 为了解决这一问题，SAM3项目于2016年启动，该项目是欧洲的芯片和设备制造商的创新项目，旨在加速能够满足当前和未来技术需求的故障分析工具的开发。 在这个项目中，SmarAct公司扩展了现有的SMARPROBE，目标是成为稳定、可靠和精确的纳米探针，适用于未来的技术。SMARPROBE LX是一种多功能闭环定位系统，具有主动温度控制和扩展扫描范围。由于独特的零力连接器，该系统可以很容易地插入和移除到高分辨率扫描电子显微镜(SEM)中。SMARPROBE的设计允许在扫描电镜内非常短的工作距离，以提高低加速电压下的成像质量。因此，为了探测14纳米或更小的晶体管节点，建议选择在低加速电压和低电子电流密度下具有足够好的成像质量的SEM，以便对这种敏感材料进行成像。 探测 探查前的准备工作。工作流程的开始是制备能够接触纳米尺寸晶体管焊盘的钨尖。您可以购买市售的标准针尖，也可以使用SMARPROBE蚀刻器生产自己的针尖(见图1)。蚀刻和三个针尖的溶液清洗的生产步骤需要不到10分钟。通过选择一种预定义的蚀刻配方，您可以产生坚固的尖端，可以持续许多探测会话，也可以产生更灵活的尖端，对样品表面的侵蚀较小。在任何情况下，SMARPROBE LX的设计都是通过独特的安全进场操纵杆控制着陆，大扫描范围以及主动位置保持来避免在开环探测系统中发生的压电蠕变，从而使尖端尽可能长时间地持续使用。持久的提示与您可以加载多个样品(最多四个SEM Stubs)的事实相结合，减少了电子显微镜必要的排气周期的数量，并减少了系统的停机时间。为了减少两次探测之间的空气中时间，该系统具有自动定位功能，便于针头和样品交换，并随后参考可重复的启动条件。 图1所示。a)使用SMARPROBE蚀刻器制备钨尖。b)自动定位换针。c)样品交换的自动定位和随后参考到可重复的起始位置，减少了探测会话之间的空气中时间。 设置探针针尖