Project Description

光学编码器

METIRIO光学编码器 – 紧凑型读数头，可用作 OEM 和独立组件

METIRIO是一款光学编码器，其设计和制造旨在满足闭环纳米定位严格的市场要求。该器件的开发基于多年的经验和广泛的产品和市场分析，并考虑了应对当今技术挑战的基本设计规则。它具有小型化，高分辨率和速度。读数头是模块化的，可以作为OEM产品提供，也可以内置到定制的金属外壳中，以促进集成过程和易用性。METIRIO在低功耗和特高压使用方面树立了新标准。相关软件的图形用户界面包括简化参数设置的智能功能，所有参数都可以存储在内部存储器中，以便可能调用。METIRIO 编码器设计用于测量所有间距为 20 μm 的反射增量刻度，包括参考标记检测。

集成光源照亮一个刻度，该刻度包括一个间距为 20 μm 的增量光栅和一个带有用于绝对定位的参考标记的轨道。反射光产生干涉图案，由读数头内的二极管阵列检测到。刻度和读数头之间的相对移动导致模拟正弦和余弦信号以及TTL形参考标记。

SmarAct公司光学编码器-METIRIO插图1

METIRIO-性能及工作原理SmarAct公司光学编码器-METIRIO插图2

  • 紧凑尺寸 6.6 x 5.1 x 1.7 mm
  • 高分辨率：0.4 nm @ 1 m/s
  • 定位速度：高达 10 m/s
  • 特高压兼容性低至 10-11 mbar
  • 工作温度范围：0 °C – 80 °C
  • 具有机械振动的恶劣环境
  • 兼容各种间距为 20 μm 的反射刻度

主要特点 — 应用

  • 闭环运动系统
  • 三坐标测量机（坐标测量机）
  • 数控铣削
  • 半导体行业
  • 位移测量系统量规
  • 生命科学和显微镜中的高精度样品扫描
  • 高分辨率 3D 打印
  • 研发

METIRIO读数头技术规格

尺寸： 6.4 x 5.1 x 1.7 毫米

读数头是METIRIO编码器的核心。所有光学和电气元件都嵌入在一个非常小的倒装芯片封装中。

Key Benefits
Compact Size [mm]
6.6 x 5.1 x 1.7
Low Current Consumption [mA]
20
Position Resolution [nm]
0,4 @ 1 m/s
High Speed [m/s]
10
Central Wavelength [nm]
850 (Invisible)
Electrical Data
Supply Voltage VDD [V]
3 to 5.5
Output Position Signal (sine) [Vpp]
1
Output Reference Signal (square) [VDD]
RS485
Bandwidth (f3dB) [kHz]
500
ESD Susceptibility (HBM) [kV]
4 at each pin
Startup Time [µs]
150
Digital Interface
TWI
Environment
UHV compatibility [mbar]
HV (1E-6); UHV (1E-11)
Maximum bake-out temperature [°C]
160
Operating temperature range [°C]
0 – 80
Humidity (40 °C) [%]
80 non-condensing
Scale Compatibility
Grating Type
reflective
Scale Pitch [µm]
20
Scale Type
linear, convex, rotary (down to 12 mm diameter)
Allowed Working Distances [mm]
1.2 mm (standard), more options upon request

METIRIO A1

尺寸： 17 x 10 x 4 mm

METIRIO A1 专为即插即用应用而设计，配备电缆、连接器和安装螺纹，以确保连接到闭环运动系统。

A1 版本的METIRIO读数头端接 D-SUB 15 公连接器，提供差分模拟信号和 I2C 接口引脚。插补模块也可以连接到A1插头。该模块提供 BiSS-C 接口和典型的 ABZ 信号。

Key Benefits
Compact Size [mm]
17 x 10 x 4
Low Current Consumption [mA]
20
Position Resolution [nm]
0.4 (@ 1 m/s)
High Speed [m/s]
10
Central Wavelength [nm]
850 (Invisible)
Electrical Data
Supply Voltage VDD [V]
3 to 5.5
Output Position Signal (sine) [Vpp]
1
Output Reference Signal (square) [VDD]
RS485
Bandwidth (f3dB) [kHz]
500
ESD Susceptibility (HBM) [kV]
4 at each pin
Startup Time [µs]
150
Digital Interface
TWI
Environment
UHV compatibility [mbar]
HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)
Maximum bake-out temperature [°C]
150
Operating temperature range [°C]
0 – 80
Humidity (40 °C) [%]
80 non-condensing
Vibration EN 60068-2-6
500 m/s2, 2000 Hz
Shock EN 60068-2-27
1000 m/s2, 11 ms
Scale Compatibility
Grating Type
reflective
Scale Pitch [µm]
20
Scale Type
linear, convex, rotary (down to 12 mm diameter)
Allowed Working Distances [mm]
1.2 mm (standard), more options upon request

主要特点 — 应用

  • 闭环运动系统
  • 三坐标测量机（坐标测量机）
  • 数控铣削
  • 半导体行业
  • 位移测量系统量规
  • 生命科学和显微镜中的高精度样品扫描
  • 高分辨率 3D 打印
  • 研发
  • Encoder Interface Module.pdf
    409.6 KiB
    Download
  • METIRIO® Readhead Specifications.pdf
    546.0 KiB
    Download
  • METIRIO® ENCODER Digital_Interface.pdf
    164.2 KiB
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  • METIRIO® ENCODER Evaluation Kit.pdf
    1.2 MiB
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  • METIRIO® Analog Encoder Resolution.pdf
    472.8 KiB
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