SHL-3D5N-5 高负载位移台
SHL 系列线型位移台专为搬运重负载而设计。机械设计基于驱动楔块,可保证高运动分辨率。单独的导轨确保沿负载方向的直线运动,并允许集成位置传感器以实现直接位置反馈和闭环操作。专为纯粹垂直方向运动而设计的定位器,用于提升组件或设备,可以配备额外的恒力弹簧,以进一步增加有效负载。因此,能够在几毫米内提升高达 10 公斤的纳米编码高负载位移台,以及基于 SHL 系列位移台的多轴系统,在所有三个维度上提供高阻挡力。
尽管有效载荷很高,SmarAct SHL 系列位移台仍然非常紧凑,也适合非常紧凑的装置。
主要规格
Download Spec Sheet | Mechanical |
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Degrees of Freedom | 3 |
Travel [mm] | 5 |
Max. Lift Force [N] | 5 (in all directions) |
Dimensions [mm] | 100 x 140 x 40 |
Weight [g] | 650 |
Open-loop | |
Velocity [mm/s] | > 5 |
Closed-Loop | |
Sensor Resolution MCS2 [nm] | 1 (S), 4 (L) |
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm] | ± 40 (S,L) |
Sensor Resolution (H)CU [nm] | 100 (L) |
Uni-Directional Repeatability (H)CU [nm] | ± 200 (S,L) |
Options | |
Material Options | Aluminum as standard; Steel base (-ST); Titanium base (-TI); Black anodized (-BK) |
Vacuum Options | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |