粘滑驱动技术 SmarAct粘滑驱动压电位移台配备了粘滑压电驱动器，将宏观行程与纳米分辨率和每秒几毫米的高速结合在一起。粘滑压电驱动的工作原理如下所述。   选项 压电驱动平台有不同的选项，如每个产品页面上的规格表所示。 在这里，您可以找到有关每个选项的功能和优势的更深入的解释。

引言 样品的精确定位是当今高精度制造和研究的核心挑战之一。标准的方法是使用集成位置反馈的高精度定位系统来控制位置。然而，样品可能安装在离集成传感器相当远的地方，因此可能的漂移无法以所需的精度控制。PICOSCALE干涉仪可用于测量(或至少非常接近)感兴趣的点。干涉仪使用红外激光束从目标表面反射来产生干涉图样。该模式被评估并包含目标位移的信息。由于分辨率和精度通常远远超过在玻璃刻度上使用周期性图案的线性编码器，因此可以将样品的定位精度提高到一个新的水平。 干涉式位移传感 PICOSCALE干涉仪的核心组件是带有激光光源和传感器头的控制器，它们通过光纤连接。传感器头部包含一个分束器作为迈克尔逊干涉仪的中心部分，其中参考镜可以直接涂覆到分束器侧表面之一。测量光束离开传感器头，必须对准目标表面，以便反射光再次进入传感器头。这样，来自参考镜和目标镜的反射光束就会相互干涉。干扰图样被引导回控制器，并使用高速检测电子和快速算法进行评估。因此，提供了具有皮米级分辨率和个位数纳米级精度的位移信号。(具体规格请参考控制器和传感器头的相应规格表。)位移信号可在几个端口进行进一步处理: 位移数据或其他派生数据源，如速度、计算角度或定时信号可以发送到用户PC进行分析或后处理。反馈回路可以用软件关闭。 使用PICOSCALE Breakout Box，位移数据可以作为正交信号(AquadB)或通过串行数据接口接收。反馈回路可以在硬件级别关闭。 通过SmarAct SI接口，位置数据可以直接发送到SmarAct的模块化控制系统MCS2,