CHS-5237-1D-10 高负载位移台
这种高负载级适用于科学和工业领域的高可用性应用。它配备了SmarAct 的可更换驱动单元,允许在需要维修时从位移台上拆下整个压电驱动器。由于可以从载物台侧面访问驱动单元,因此在维修期间无需将设备从定位装置上拆下。机械设计基于驱动楔,保证平台运动的高分辨率。单独的导轨可确保沿负载方向的直线运动,并允许集成位置传感器以实现直接位置反馈和闭环操作。安装孔图案支持轻松拧紧到CLS52 系列和SR-5014的线性位移台上。或者,可以添加不同的恒力弹簧来处理高达 10 N 的有效负载。
主要规格
Download Spec Sheet | Mechanical |
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Degrees of Freedom | 1 |
Travel [mm] | 10 |
Max. Lift Force [N] | 10 |
Dimensions [mm] | 52 x 52 x 37 |
Weight [g] | 270 |
Open-loop | |
Velocity [mm/s] | > 2 |
Closed-Loop | |
Sensor Resolution MCS2 [nm] | 1 (S), 4 (L) |
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm] | ± 40 (S,L) |
Sensor Resolution (H)CU [nm] | 100 (L) |
Uni-Directional Repeatability (H)CU [nm] | ± 200 (S,L) |
Options | |
Material Options | Aluminum base as standard; steel base (-ST); titanium base (-TI); black anodized (-BK) |
Vacuum Options | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |