CHS-9257-1D-15   高负载位移台

该长行程高负载位移台配备了SmarAct 的可更换驱动单元,允许在需要维修时从位移台上拆下整个压电驱动器。由于驱动单元可从载物台侧面操作,因此在维修期间无需将设备从定位装置上拆下。机械设计基于驱动楔,保证位移台运动的高分辨率。单独的导轨可确保沿负载方向的直线运动,并允许集成位置传感器以实现直接位置反馈和闭环操作。安装孔图案支持轻松拧紧到CLS92 系列的线性位移台上。或者,可以根据要求增加最大升力。