SmarAct公司-SMAR POD P-CLL – 类六足位移台精密定位系统

大型SMAR POD 采用 CLL 系列的三个纳米位移台,在 X 方向提供 330 毫米的超大行程。

SMAR POD P-CLL 使用 SLC 纳米位移台进行 Y 方向的运动,并使用 CLL 位移台进行 X 方向的运动由于不同线性位移台的这种特定组合,P-CLL 可根据需要在 X 方向上提供高达 1200 毫米的极大行程范围,同时在 Y 方向上保持较小的占地面积。

旋转行程的值是针对顶板表面的枢轴点给出的。

对于不同的姿势,整个系统的整体尺寸可能更大。有关详细信息,请参阅下载区域中的 CAD 模型。

重复性是在每个系统顶板上方约 20 毫米处、在整个行程范围内、每次针对一个自由度进行测量的对于较短的行程,值可能会更好。

如需其他尺寸和行程,请随时与我们联系