SmarAct公司-TRIPOD 92-6DoF – 类六足位移台精密定位系统
TRI POD 92-6DoF的核心组件是TRI POD 92-Core 并联运动倾斜位移台。其采用三个径向排列的塔的设计允许顶板进行滚动和俯仰运动,Rx 的总行程为 31°,Ry 的总行程为 27°,Z 方向的线性平移为 11 mm。在TRI POD 92-Core顶部,SR-5714C 旋转台允许绕 Z 轴无限旋转。 TRI POD 92-Core 与 CLS-92 模块化系统完全兼容,并放置在由两个 CLS-92 线性平移台组成的 XY 平台上。底板允许直接安装到具有 25mm 网格的标准光学面包板上。
旋转行程的值是针对顶板表面的枢轴点给出的。
对于不同的姿势,整个系统的整体尺寸可能更大。有关详细信息,请参阅下载区域中的 CAD 模型。
重复性是在每个系统顶板上方约 20mm处测量的,在整个行程范围内,一次针对一个自由度。对于较短的行程,重复性值可能会更好。
主要规格
Download Spec Sheet | Mechanical |
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Travel [mm] | 63 (X); 63 (Y); 11 (Z) |
Travel [°] | 31 (Θx); 27 (Θy); 360 (Θz) |
Max. Normal Force [N] | 3.5 |
Max. Horizontal Force [N] | 1.75 |
Dimensions [mm] | 142 x 142 |
Height of Platform above Ground [mm] | 94.35 |
Weight [g] | 1430 |
Closed-Loop | |
Sensor Types | SC |
Smallest Increment [nm] | 1 |
Smallest Increment [µ°] | 3 |
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm] | +/- 50 |
Options | |
Vacuum Options | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
Non-Magnetic Option | Yes |