Smaract纳米定位系统应用实例

Smaract公司开发和生产用于纳米定位的高精度、紧凑型产品，这些产品可以满足多种不同的应用场景下的要求，同时易于操作。产品类别有：

01 SMAR SLIDE 压电定位平台

-压电定位平台，定位范围大，从几毫米到一米多，也可以在极端环境条件下使用

02 SMAR SHIFT 电磁驱动定位平台

– 快速且高精度的电磁驱动定位平台

03 SMAR FLEX 纳米扫描平台

-基于合规结构的高分辨率动态纳米扫描平台

04 SMAR BOTIC多自由度机器人

-复杂的定位系统和多自由度机器人

05 PICO SCALE皮米激光干涉仪

-具有皮米分辨率的紧凑型皮米激光干涉仪

06 PICO SCALE振动计

-用于检测平面内和平面外振动，具有 pm 分辨率

07 METIRIO 小型光学编码器

-小型化光学编码器；也适用于苛刻的环境条件

08 SMAR PROBE纳米探针台

-纳米探测平台，可突破晶圆、ASICS 和 MEMS 故障分析的技术可行性极限。

您是否正在寻找创新产品来推进您在高精度技术领域的应用？无论是定位技术、计量还是自动化技术，我们都是您合适的合作伙伴。

我们不断增长的产品组合包括经过验证的产品和/或系统，可满足您的多样化需求。此外，我们擅长根据您的需求设计特殊设备，并以简单、快速的方式实施它们。

应用实例

产品目前已经广泛用于自动化、半导体、纳米技术、生命科学、材料科学、高能物理等众多领域。

01 ICFO的阿妙和超快光学

用户开发了一种用于阿秒软 X 射线光谱的高分辨率和高通量光谱仪。紧凑性和精确对准的关键是 Smaract GmbH 的 SmarPod，它使用三个不同的光栅定位新型 X 射线波带板。该装置提供最大 1/4000 的分辨率和高达 25% 的效率。

图 1：软 X 射线光谱仪。图中所示的是真空装置，配有带 Smaract GmbH SmarPod 的光谱仪室、束管和低温制冷 CCD 相机。整个光谱仪还可用作扫描单色仪，或用于快速光谱测量。

图 2：软 X 射线光谱室。查看光谱仪室内部。X 射线波带片通过 Smaract GmbH SmarPod 进行精确对准或扫描。波带片具有三个光栅，其中一个光栅由对准激光照射。

图 3：软 X 射线光谱仪的第一束光。CCD 图像显示宽光谱图像，焦点位于 294 eV 的碳边缘。

02 SMARPOD用于拾取-放置

光学工艺和技术的成功发展需要高精度的定位系统，特别是在半导体研究和工业领域。当前和未来的技术挑战在于光子集成电路（涵盖可见光到近红外光谱区域）、微米级 LED 集成到 CMOS 电子器件以及用于量子技术的单光子发射器集成等领域。

IOP 开发的系统正是为了解决了这些挑战，实现了将多功能半导体合金库以纳米精度混合和异构集成在单个接收平台上。SmarAct 实施的 SMARPOD 混合线性/并联运动范式可实现六自由度的纳米级精密运动，通过将半导体器件打印为纳米到毫米级的薄膜，实现半导体器件的操控和集成。

03 用于灵长类大脑研究的轻型探针定位系统

-基于超声波的脑部扫描

说明文字：使用 6 MHz 探头拍摄的恒河猴大脑的功能性超声图像（改编自 [1]）

Iconeus是一家总部位于巴黎的硬件和软件制造商，生产使用功能性超声技术获取脑部扫描的硬件和软件。该方法使用来自专门探头的多平面波超声波脉冲来提供有关血流的信息，从而提供有关大脑活动的信息。这些探头需要在扫描过程中精确定位，以优化最终 2D 或 3D 大脑图像的视野（和分辨率）。

使用 Iconeus 设备进行的大部分工作涉及啮齿类动物的头部固定研究，但作为加速人类临床应用开发使命的一部分，现在人们越来越有兴趣在灵长类动物身上使用该设备。然而，这需要比该公司目前提供的四轴电动扫描平台更轻的探头定位系统。SLC-1740 的重量仅为 26 克，远比现有的头部固定平台笨重，为受试者提供更大的舒适度，同时保留精确定位探头所需的单轴运动。因此，Iconeus 计划将其用作所有销售用于灵长类动物的仪器的标准探针定位系统。

[1] Functional ultrasound imaging of the brain reveals propagation of task-related brain activity in behaving primates.。Dizeux A、Gesnik M、Ahnine H、Blaize K、Arcizet F、Picaud S、Sahel JA、Deffieux T、Pouget P、Tanter M. Nat Commun，2019。doi：10.1038/s41467-019-09349-w

04 用于同步加速器线站的多轴定位和探测系统

了解材料的微观和纳米结构需要许多不同的分析技术。最复杂的技术涉及使用同步辐射加速器光源产生的聚焦 X 射线束。为了更好地了解晶相、取向和应变/应力分布及其光学、电学、机械和表面特性，SmarAct 为台湾光源的“用于微结构分析的 FOcus X 射线”的线站开发了独特的样品定位和探测（FORMOSA）。将四个具有三个自由度的微操纵器、一个样品台和一个具有六个自由度的完整六足式SMAR POD 组合在一个紧凑的装置中，适合真空室的狭小空间。多轴定位系统允许在 X 射线束中以纳米分辨率移动样品，或将其朝向也连接到系统的 SEM 的电子柱。定制的SMAR POD 提供高达 110 毫米 x 80 毫米的水平行程和 70 毫米的垂直行程，允许高达 20° 的倾斜角度，以便将样品平台与安装在腔室上的不同探测器对齐。